LDI曝光機
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設備名稱：LDI曝光機
設備品牌：源卓
設備產能：8500m²/月
設備工藝：線寬精度±5um，層間對位精度±20um，外層對位精度±10um，解析度60um，曝光均勻性≥95%，自動漲縮管控
設備優勢：提高精細線路的制作能力，減少生產報廢，同時提升生產效率。
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